Описание
Трис (диэтиламидо) трет-бутилимид тантала представляет собой жидкость без запаха от бесцветного до бледно-желтого цвета. Хорошо реагирует с влагой, водой, протонными растворителями. Точка кипения: 90 °С. Плотность: 1,252 г/мл при 25 °C. Является полезным предшественником для осаждения на атомном слое оксида тантала и нитрида тантала.
CAS: 169896-41-7
Синонимы: Трис (диэтиламидо) (трет-бутилимидо) тантал (V), Трис (диэтиламино) (трет-бутилимино) тантал (V), TBTDET, 521280_ALDRICH, 668990_ALDRICH, AKOS015913429, I14-46036
| Molecular Formula: | C16H39N4Ta-3 | Molecular Weight: | 468.455540 [g/mol] |
